| 指标名称 | 一级水 | 二级水 | 三级水 | 
| 
 | 1级水>10MΩ | 2级水>1MΩ | 3级水>0.2MΩ | 
| PH值范围(25℃) | -- | -- | 5.0-7.5 | 
| 比电阻MΩ.cm(25℃)> | 10 | 1 | 0.2 | 
| 电导率(25℃)≤ | 0.1 | 1 | 5 | 
| 可氧化物[以O计]mg/L | -- | 0.08 | 0.40 | 
| 吸光度(254nm,1cm光程)≤ | 0.001 | 0.01 | -- | 
| 二氧化硅(mg/L) | 0.02 | 0.05 | -- | 
| 蒸发残渣(mg/L) | -- | 1.0 | 2.0 |